DMS类型的SAW滤波器仿真
2026/5/21 23:24:30
ID:SawSSS
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    不同于FBAR滤波器,SAW滤波器在结构类型上有两个重要分支。一是ladder类型,二是DMS类型。

    DMS由于其结构的原因,不适合大功率场景,所以常用在RX类型的滤波器中(接收端)。本文分享一些DMS滤波器的COMOSL仿真


    常见的DMS类型的滤波器有双idt,3idt,如下图。DMS的阶数还可以增加,变成5idt,7idt等等

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    设计DMS类型的重点在于,要对各idt的Pitch进行加权,来获得一个较好的通带性能。Pitch加权的规律不明显,通常需要用算法进行优化。但一般各idt中心的指条Pitch会大于此idt两侧的指条。

    在此用COMSOL仿真了一个42LT切向的DMS。其具有3idt结构,占空比0.5,铝电极厚度160nm,左右两端的反射栅设置为25根,idt1有29根指条,idt2有33根指条,idt3也是29根指条。Pitch以1um为基准进行加权。COMSOL模型和仿真结果如下:


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    仿真结果可以看出,这就是典型的DMS的响应曲线:通带左侧抑制度较高,Skirt陡峭,通带右侧抑制度较差,Skirt变缓。通带右侧存在“肩膀”。

    这样的波形已经可以应用在射频前端中。但是,若在某些频段共存的场景中,需要右侧有强抑制度指标,就得改良DMS右侧的“肩膀”。通过增加SAW谐振器,引入新的零点“干掉”右侧的“肩膀”。

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SawSSS2026/5/14 21:40:14
回复一楼:这也是个不错的方法
jjboy2232026/5/11 13:05:51
IDT之间加反射栅,可以改善高端阻带抑制