不同于FBAR滤波器,SAW滤波器在结构类型上有两个重要分支。一是ladder类型,二是DMS类型。
DMS由于其结构的原因,不适合大功率场景,所以常用在RX类型的滤波器中(接收端)。本文分享一些DMS滤波器的COMOSL仿真
常见的DMS类型的滤波器有双idt,3idt,如下图。DMS的阶数还可以增加,变成5idt,7idt等等

设计DMS类型的重点在于,要对各idt的Pitch进行加权,来获得一个较好的通带性能。Pitch加权的规律不明显,通常需要用算法进行优化。但一般各idt中心的指条Pitch会大于此idt两侧的指条。
在此用COMSOL仿真了一个42LT切向的DMS。其具有3idt结构,占空比0.5,铝电极厚度160nm,左右两端的反射栅设置为25根,idt1有29根指条,idt2有33根指条,idt3也是29根指条。Pitch以1um为基准进行加权。COMSOL模型和仿真结果如下:



仿真结果可以看出,这就是典型的DMS的响应曲线:通带左侧抑制度较高,Skirt陡峭,通带右侧抑制度较差,Skirt变缓。通带右侧存在“肩膀”。
这样的波形已经可以应用在射频前端中。但是,若在某些频段共存的场景中,需要右侧有强抑制度指标,就得改良DMS右侧的“肩膀”。通过增加SAW谐振器,引入新的零点“干掉”右侧的“肩膀”。